聚焦离子束电子束双束显微镜
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
crossbeam-350 -
当前状态
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管理员
左晓剑,杜申 15501129135 -
放置地点
直属部门绿色低碳钢铁冶金全国重点实验室(校本部)综合楼102
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
聚焦离子束电子束双束显微镜
资产编号
S2109461
型号
crossbeam-350
规格
crossbeam-350
产地
德国
厂家
卡尔蔡司公司
所属品牌
蔡司+牛津
出产日期
购买日期
2021-12-23
所属单位
绿色低碳钢铁冶金全国重点实验室
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
左晓剑 杜申
联系电话
15501129135
联系邮箱
zuoxiaojian@ustb.edu.cn
放置地点
直属部门绿色低碳钢铁冶金全国重点实验室(校本部)综合楼102
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
最佳工作距离条件下二次电子分辨率（测试模式为标准模式，无样品台减速模式）：0.9 nm@15 kV1.7nm@1 kV双束交叉点（WD=5mm）处二次电子分辨率：2.3nm@1kV（镜筒内二次电子探测器成像）电压：0.02kV - 30 kV （标准模式下）；束流：5 pA到20 nA，高分辨成像配置 ；离子源类型：UHV，液态镓金属离子源（Ga-LMIS）离子源寿命：3000uAh，即1500小时（离子源固定发射束流2uA）FIB分辨率3nm at 30kV（不少于1500点边统计法）可用探针电流1 pA to 100 nA放大倍数300× - 500,000×加速电压0.5 kV – 30 kV调整：以10 V为步长连续可调。养护间隔72 小时（Reheat时间间隔）成像／图形最大视场离子束位移580 x 580 μm± 15 μm驻留时间最小驻留时间：最大驻留时间：25 ns1 sec透镜类型：两级静电式透镜离子束闸内置，静电式聚焦控制：粗调和细调控制消像散器类型：八极静电式消像散器光栏数量：14个机械光栏位置，电动以得到超高的再现性。光栏更换后不需重新对中。控制：软件控制以进行自动操作样品室与样品台样品室尺寸：内部尺寸进深330mm，宽度330mm，270 mm高。接口：18个（用于EDS、EBSD、SIMS、机械手等）样品室观察：提供2套样品是内红外CCD摄像机，可全角度实时监控样品仓内零部件和样品之间的位置关系分析工作距离：5 - 8.5 mm电子和离子束的重合点工作距离：5 mm (SEM), 12 mm (FIB)镜筒布局：电子光学和聚焦离子束镜筒之间的角度是54度。EDS出射角：35度。最大样品尺寸：最大样品直径Φ200mm（样品可全幅度旋转且X/Y轴可全幅移动条件下），最大样品高度50mm更换样品方式：抽屉式前仓门更换样品样品台类型：6轴马达驱动高精度超优中心样品台，由SmartSEM？用户界面控制，用双操纵杆操作。安装：抽屉式安装行程: X = 100 mmY = 100 mmZ = 50 mmM = -5 to 8 mm(Z’)Tilt = -4 to 70°Rotation = 360° continuous 附件接口：在样品台的门上提供两个附件接口。带有集成的接触报警（与屏幕信息一致的音响接触报警）样品电流监视器。样品座：用于13 mm直径样品桩的9桩导航样品座。束闸：配置用于离子源开关的自动控制束闸指示：软件中的状态信息指示全部发射器参数
主要功能及特色
对样品进行显微形貌观察和成分分析；对样品进行纳米级加工制备；对样品进行晶体取向分析。
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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