磁控溅射镀膜仪
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1/人使用者
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5122/小时总时长
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2/人收藏者
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
ATC-1800F -
当前状态
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管理员
admin 010-623333914 -
放置地点
学院、校区材料科学与工程学院主楼227
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
磁控溅射镀膜仪
资产编号
20064607
型号
ATC-1800F
规格
*
产地
美国
厂家
AJA
所属品牌
出产日期
2006-12-30
购买日期
2006-12-30
所属单位
材料科学与工程学院
使用性质
科研
所属分类
真空喷膜台和离子溅射台
资产负责人
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联系电话
010-623333914
联系邮箱
*
放置地点
学院、校区材料科学与工程学院主楼227
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1、主真空室的本底真空优于2×10－8Torr；2、四英寸的基片范围内薄膜厚度均匀性优于±2％；3、可以溅射磁性和非磁性金属、进行直流和射频溅射；4、基片可以加热（800℃）、冷却（水冷）；5、全自动控制；6、18英寸主溅射室；7、高真空泵抽系统；8、超高真空磁控溅射靶；直流/射频电源；9、4英寸样品台；10、PhaseII-J控制系统。
主要功能及特色
纳米磁性薄膜制备设备，可以制备纳米磁性薄膜，能加热，共五个靶位。
样本检测注意事项
纳米磁性薄膜制备设备，可以制备纳米磁性薄膜，能加热，共五个靶位。
设备使用相关说明
工作日开放，提前预约
备注
视具体实验内容而定
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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