离子束刻蚀系统
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3671/小时总时长
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1/人收藏者
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
LKJ-1C-150I -
当前状态
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管理员
admin 010-623333914 -
放置地点
学院、校区材料科学与工程学院主楼227
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
离子束刻蚀系统
资产编号
20051997
型号
LKJ-1C-150I
规格
*
产地
中国
厂家
北京埃德万斯离子束技术研究所
所属品牌
出产日期
2005-08-30
购买日期
2005-08-30
所属单位
材料科学与工程学院
使用性质
科研
所属分类
反应离子刻蚀台
资产负责人
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联系电话
010-623333914
联系邮箱
tengjiao@mater.ustb.edu.cn
放置地点
学院、校区材料科学与工程学院主楼227
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
离子源口径：150mm；离子能量范围：0-800eV；工作离子能量范围：200-650eV；离子束流峰值密度：≥0.7；实用离子束密度：0.2-0.6；有效束径：≥100mm；系统极限压强：≤1*10-4Pa；系统工作本地压强：≤5*10-4Pa；氩气质量流量控制范围：0-10secm；准确度±15%、精度±0.2%；刻蚀角范围0-90°；刻蚀台自转速度：9rpm；刻蚀台表面温度：10℃-25℃
主要功能及特色
用于各种声、光、电特种器件的刻蚀，抛光，图形复印精度，取定研磨制造精度，分辨率优于0.5μm。
样本检测注意事项
用于各种声、光、电特种器件的刻蚀，抛光，图形复印精度，取定研磨制造精度，分辨率优于0.5μm。
设备使用相关说明
工作日开放，提前预约
备注
视具体实验内容而定
预约资源
检测项目
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