电子背散射衍射能谱分析系统

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设备型号

Symmetry S3

当前状态

管理员

于新攀,刘杰 15901268750

放置地点

直属部门钢铁共性技术协同创新中心
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名称

电子背散射衍射能谱分析系统

资产编号

S2603234

型号

Symmetry S3

规格

最高分辨率可达1244×1024;在线解析标定速度可达5700 pps,此时花样分辨率仍能保持128×156;有效窗口面积30mm2,无需液氮冷却;能量分辨率Mn Ka保证优于129eV;

产地

英国

厂家

牛津

所属品牌

牛津

出产日期

购买日期

所属单位

钢铁共性技术协同创新中心

使用性质

科研

所属分类

质谱、能谱、波谱分析仪器

资产负责人

赵征志 武会宾

联系电话

15901268750

联系邮箱

xinpan_yu@ustb.edu.cn

放置地点

直属部门钢铁共性技术协同创新中心
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
  • 样本检测注意事项
  • 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
Xplore 30分析型SDD硅漂移电制冷探测器,有效窗口面积30mm2,无需液氮冷却;能量分辨率Mn Ka保证优于129eV;元素分析范围Be4~Cf98。Symmetry S3电子背散射衍射仪具有高速低噪音CMOS相机,分辨率可达1244×1024,角分辨率为0.05°;在线解析标定速度可达5700 pps,此时花样分辨率仍能保持128×156;
主要功能及特色
牛津Symmetry S3型电子背散射衍射仪(EBSD)主要用于晶体取向、相鉴定、晶界特征及应变分析,特色在于其高灵敏度CMOS探测器可实现≥3000点/秒的高速采集,低束流下仍能快速成像,适合电子束敏感材料;Xplore 30型能谱仪(EDS)主要用于元素定性定量及面分布分析,特色是30mm²有效面积带来高计数率,轻元素(C、N、O)检测能力强,能量分辨率≤129eV,两者结合可同步获取微观结构与成分信息。
样本检测注意事项
样品必须导电、清洁、干燥、无挥发物,且尺寸适配样品台并牢固固定,以避免真空污染或移动。针对EBSD,试样表面需极度平整且无加工应力层,通常需经机械抛光后辅以电解抛光或离子抛光,以保证菊池花样质量;同时应避免镀膜过厚(若需镀碳,应尽量薄)以免削弱信号。针对EDS,试样表面应尽量平整以提升定量准确性,若需镀膜则优先选择碳膜,避免金、铂等涂层干扰能谱峰。此外,磁性样品需谨慎处理,防止磁场干扰电镜及探测器。
设备使用相关说明
工作日开放,提前一周开始预约。
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