扫描电子显微镜
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收费标准
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设备型号
ZEISS Sigma 360 -
当前状态
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管理员
于新攀,刘杰 15901268750 -
放置地点
直属部门钢铁共性技术协同创新中心
- 仪器信息
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名称
扫描电子显微镜
资产编号
S2603237
型号
ZEISS Sigma 360
规格
二次电子分辨率0.9nm@15kV，1.3nm@1kV，放大倍数10-1000000倍。
产地
英国
厂家
蔡司集团
所属品牌
蔡司
出产日期
购买日期
所属单位
钢铁共性技术协同创新中心
使用性质
科研
所属分类
光学式分析仪器
资产负责人
赵征志 武会宾
联系电话
15901268750
联系邮箱
xinpan_yu@ustb.edu.cn
放置地点
直属部门钢铁共性技术协同创新中心
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
电子枪采用Schottky热场发射灯丝，具备自动聚焦、倾斜校正功能；束流稳定性优于0.2%/h, 特别适合扩展需要长时间连续运行的EBSD应用；二次电子分辨率为：0.9nm@15kV，1.3nm@1kV（无样品台减速模式的标准模式下）；标准模式下加速电压和着陆电压可调范围均为20V~30kV，加速电压可以10V为步进，并且连续可调；放大倍率范围为：10-1,000,000倍；样品室内部直径为365mm，高度为275mm；样品台各轴向最大行程如下：X轴=125mm，Y轴=125mm，Z轴=50mm，倾转范围为-10°~90°，可实现360°旋转。
主要功能及特色
蔡司Sigma360场发射扫描电镜（FE-SEM）采用Gemini光学镜筒，具备高分辨率（0.9 nm@15 kV）与优异的低电压成像能力，可清晰观察纳米级表面形貌。其特色包括：大角度倾斜样品台（最大70°）支持多角度观测；高灵敏度二次电子及背散射电子探测器确保快速、高信噪比成像。
样本检测注意事项
样本必须干燥、无挥发物，且具备导电性（非导电样本需镀金或碳膜），避免真空污染；尺寸需适配样品台，并确保牢固固定，防止倾斜或移动；磁性样品需谨慎处理，避免磁场干扰成像；低电压或高分辨率模式下，需优化加速电压与束流以减少荷电效应；操作前应清洁表面，避免残留污染物影响图像质量。同时，遵循设备真空要求，避免热敏感样品过度升温。
设备使用相关说明
工作日开放，提前一周联系预约。
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