高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
Q150T ES -
当前状态
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管理员
李萧,admin 62332598-6102 -
放置地点
直属部门工程技术研究院科技楼110
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪
资产编号
20144202
型号
Q150T ES
规格
产地
厂家
英国Quorum
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
工程技术研究院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
李萧
联系电话
62332598-6102
联系邮箱
smilewing@126.com
放置地点
直属部门工程技术研究院科技楼110
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.系统集成了磁控离子溅射和热蒸镀两种真空沉积镀膜方式;2.溅射工作真空范围：5 x 10-3 到5 x 10-1mbar；3.溅射靶材：高分辨率精细镀层，标配直径57mm圆片铬靶;碳蒸发头：采用直流电源蒸发；4.标配直径3.05mm碳棒蒸发头，标配手动碳棒刨；5.蒸发电流：1-90A
预约资源
检测项目
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