新金属材料国家重点实验室的Thermo Scientific™ Helios™ 5 UX DualBeam 是行业领先的 Helios DualBeam 系列第五代产品，它创新的 Elstar™ 电子镜筒与高电流 UC + 技术结合，以实现较高分辨率成像和较高的材料对比度，用于较快、较容易和较精确的微纳加工。

FIB主要功能：

1、SEM：各种材料形貌观察和分析和3D形貌重构，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等。

2、EDS：材料微区成分分析和3D成分重构。

3、EBSD：多晶材料的晶体取向和织构分析和3D晶体取向重构，测试能谱和EBSD 同步采集和一体化功能。

4、FIB：材料微纳结构的样品制备，包括：SEM在线观察下在特定的感兴趣区域（如晶界、析出相、多层膜等）制备TEM和APT样品、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积等。

5、冷台FIB：FIB冷台系统提供可液氮温度环境（77 K），极大减少氢、氘等元素的流失，还可以延缓消除环境对材料的影响和Ga离子带来的热变形。

        欢迎广大师生前来实验，实验室地点：主楼169

        联系电话：乔祎 13661129664

新金属材料国家重点实验室

2024年4月24日