场发射电子探针显微分析系统

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机时
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设备型号

EPMA-8050G

当前状态

管理员

衣凤 15810863676

放置地点

直属部门新金属材料国家重点实验室主楼170
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名称

场发射电子探针显微分析系统

资产编号

S2303954

型号

EPMA-8050G

规格

产地

日本

厂家

日本岛津

所属品牌

岛津SHIMADZU

出产日期

购买日期

所属单位

新金属材料全国重点实验室

使用性质

科研

所属分类

资产负责人

衣凤

联系电话

15810863676

联系邮箱

yifeng@ustb.edu.cn

放置地点

直属部门新金属材料国家重点实验室主楼170
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
  • 样本检测注意事项
主要规格&技术指标
发射源:肖特基发射体
X射线取出角:52.5°
元素探测范围:5B~92U
加速电压:0.5~30kV
二次电子分辨率:3nm(30kV)
物镜光阑:固定式(无需切换)
束流:0.2nA~3μA(30KV)
探针电流稳定性: ±0.3%/h以下(10KV、50nA)
放大倍数: ×40~400,000
最大样品尺寸:100mm×100mm×50mm
主要功能及特色
非破坏性重复分析
精细结构分析
纳米尺度的空间分辨分析
高准确性定量分析
高准确性轻元素分析
高敏感性微量元素探测
X射线临近光谱的高分辨能力
元素的定性分析
元素的定量分析
元素的线分布分析
元素的面分布分析
样本检测注意事项
电子探针(EPMA)试样要求
最大试样尺寸:Φ25mmX15mm,如有其它特殊尺寸,可详细咨询。
试样表面必须磨平抛光、清洗干净(机械抛光、振动抛光均可,可以轻微腐蚀或电解抛光)。要求分析面水平,尽量上下表面平行。
试样要有良好的导电性和导热性,且必须是在高能电子轰击下物理和化学性能稳定的固体、不分解、不爆炸、不挥发、无放射性、无磁性。
易受磁样品原则上不保证测试结果,样品尺寸限制在5 mm X 5 mm厚度小于2 mm。
试样在光学显微镜下能找到50umX50μm大小的无凹坑或划痕的区域。有机物镶嵌的样品需要喷碳或喷金。
定量分析试样需要有微米尺度的成分均匀区域,尽量喷涂碳膜
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