场发射扫描电镜（Scanning Electron Microscope）

生产厂商：捷克TESCAN

所属单位：碳中和研究院

放置地点：科技楼110实验室

TESCAN MIRA4是最新推出的第四代高性能扫描电子显微镜，配置有高亮度肖特基场发射电子枪，同时配置了Oxford Instruments的Xplore30能谱仪和Symmetry S2电子背散射衍射仪，具备SEM检测、EDS材料微区成分的定性和半定量分析、EBSD应变测量、织构、取向差、晶粒尺寸及形状分析等功能。

邮件预约：kjlsem110@163.com

（平台预约：https://sbgx.ustb.edu.cn/  近期科研机时饱满，暂停平台预约）

性能指标：

电压 5-30keV，电流5pA-10nA；

分辨率：二次电子分辨率优于1.0nm@30kv；背散射电子分辨率优于2.0nm@30kV ；

放大倍率：2 ～ 1,000,000倍；

电子发射源：采用Schottky型场发射电子源；

配备样品仓室二次电子探测器SE和可伸缩BSE探测器；

配备镜筒内高分辨二次电子探测器In-Beam SE；

配备视频级能谱仪和高速EBSD探测器

主要应用：

1.固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)

2.显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定

3.利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定

样品要求：

1. 样品要求为块体，高度＜10mm，不接受粉末样品预约
2. 样品不能含有有机油脂类污染物
3. 样品要是干燥的
4. 样品表面可以导电
5. 样品若是镶嵌样，建议使用冷镶，禁止使用电木热镶样进行拍摄

测试结果展示：

SEM

EBSD